Die Produktionsanlage Tetra 320R mit ihren 320 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung(Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz:
Technische Daten
Schaltschrank: B 870 mm, H (mit Füßen) 1860 mm, T 1400 mm
Kammer: ∅ 640 mm, T 1000 mm
Kammervolumen: ca. 320 Liter
Gaszufuhr: 2 Gaskanäle über MFCs
Generator: 1 Stück (80 kHz/ 1000 Watt)
Steuerung: PC-Steuerung (Windows)
Teile Aufnahme: nach Kundenwunsch
Plasmaprozesse
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
Ätzen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.
Beschichten von Werkstoffen
Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.
