Pico

IMPIANTI AL PLASMA A BASSA PRESSIONE (PLASMACLEANER)

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Plasma anlage zur reinigung, aktivierung, beschichtung, ätzung
 

I sistemi al plasma Pico possono essere combinati in diverse varianti come in un sistema modulare. Di seguito è riportata una panoramica delle opzioni più consuete relative ai sistemi al plasma Pico. I sistemi Pico vengono utilizzati principalmente per le seguenti applicazioni:

  • Analitica (REM, TEM)
  • Archeologia
  • Automotive
  • Reparti di ricerca e sviluppo
  • Tecnologia dei semiconduttori
  • Produzione in piccole serie
  • Tecnologia delle materie plastiche
  • Tecnologia medicale
  • Tecnologia dei microsistemi
  • Tecnologia dei sensori
  • Sterilizzazione
  • Tecnologia tessile
 

Dati tecnici

Configurazione di base

  •     Le dimensioni dell'alloggiamento variano a seconda dei componenti / delle opzioni
  •     Volume della camera: 4 - 15 litri, a seconda della versione
  •     Alimentazione elettrica: 230 V per apparecchi da tavolo, 400 V / 3 fasi per apparecchi da pavimento

Alimentazione di gas

  •     Valvole a spillo
  •     Mass-Flow-Controller (MFC)

Camere da vuoto

  •     Acciaio inox, cilindrica con coperchio (ca. ∅ 150 mm, L 320 mm o L 600 mm) oppure
  •     Acciaio inox, rettangolare, porta a battente (ca. B 160 mm x A 160 mm x P 325 mm o 600 mm)
  •     Alluminio, rettangolare, porta a battente (ca. ∅ 160 mm x 160 mm, L 325 mm o L 600 mm)
  •     Vetro di quarzo (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)
  •     Vetro borosilicato (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)

Caricamento

  • Supporto pezzo di lavorazione (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, vetro di quarzo 

Elettrodi

  •     A uno o più strati
  •     RIE

Regolazione

  •     Semiautomatica
  •     Controllo Basic PC (Microsoft Windows CE)
  •     Controllo Full PC (Windows 10 IoT)

Misurazione della pressione

  •     Pirani
  •     Manometro capacitivo (per versione con gas corrosivo)

Timer

  • Digitale

Generatori

Frequenze:    

  • 40 kHz: Potenza 0 - 200 W; 0 -1000 W
  • 100 kHz: Potenza 500 W
  • 80 kHz: Potenza 1000 W
  • 13,56 MHz: Potenza  0 - 100 W; 0 - 300 W
  • 2,45 GHz: Potenza 0 - 300 W

Tutti i generatori sono regolabili in continuo da 0 a 100 %  

Pompe per vuoto

  • In diverse dimensioni e di diversi produttori (se necessario, con filtro a carboni attivi)

Ulteriori opzioni

Set di ricambi, Manometro, Ambiente di utilizzo corrosivo, Bombole di gas, Riduttore di pressione, Piastra di riscaldamento, Visualizzazione della temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Inchiostri di prova, Generatore di ossigeno, Ventilazione lenta, Pompaggio lento, Flangia portacampioni TEM, Manutenzione/Assistenza, Documentazione in lingua nazionale, Installazione in loco, incl. training. Altre opzioni su richiesta

+49 7458 99931-0

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