Nano

IMPIANTI AL PLASMA A BASSA PRESSIONE (PLASMACLEANER)

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I sistemi al plasma Nano possono essere combinati in diverse varianti come in un sistema modulare. Di seguito è riportata una panoramica delle opzioni più consuete relative ai sistemi al plasma Nano: I sistemi al plasma Yocto IIIvengono utilizzati principalmente per le seguenti applicazioni:

Analytica, archeologia, automotive, reparti di ricerca e sviluppo, tecnologia dei semiconduttori, produzione in piccole serie, tecnologia delle materie plastiche, tecnologia medicale, tecnologia dei microsistemi, tecnologia dei sensori, sterilizzazione, tecnologia tessile

Dati tecnici

Configurazione di base

  •     Le dimensioni dell'alloggiamento variano a seconda dei componenti / delle opzioni
  •     Volume della camera: 18 - 36 litri, a seconda della versione
  •     Alimentazione elettrica: 230 V per apparecchi da tavolo, 400 V / 3 fasi per apparecchi da pavimento

Alimentazione di gas

  • Valvole a spillo
  • Mass-Flow-Controller (MFC)

Camera da vuoto

  • Acciaio inox, cilindrica con coperchio (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm o L 600 mm) oppure
  • Acciaio inox, rettangolare, porta a battente (ca. B 240 mm x A 240 mm x P 420 mm o 600 mm)
  • Alluminio, rettangolare, porta a battente (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm o L 600 mm)
  • Vetro di quarzo (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
  • Vetro borosilicato (UHP), cilindrica con coperchio o porta a battente (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)

Caricamento

  • Supporto pezzo di lavorazione (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, vetro di quarzo

Elettrodi

  •     A uno o più strati
  •     RIE

Sistemi di controllo

  •     Semiautomatica
  •     Controllo Basic PC (Microsoft Windows CE)
  •     Controllo Full PC (Microsoft Windows 10 IoT)

Misurazione della pressione

  •     Pirani
  •     Manometro capacitivo (per versione con gas corrosivo)

Timer

  • Digitale

Generatori

Frequenze:    

  • 100 kHz: Potenza 500 W
  • 80 kHz: Potenza 1000 W
  • 13,56 MHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 300 W
  • 2,45 GHz: Potenza 0 - 600 W

Tutti i generatori sono regolabili in continuo da 0 a 100 % 

Pompe per vuoto

  • In diverse dimensioni e di diversi produttori (se necessario, con filtro a carboni attivi)

Ulteriori opzioni

Set di ricambi, Manometro, Ambiente di utilizzo corrosivo, Bombole di gas, Riduttore di pressione, Piastra di riscaldamento, Visualizzazione della temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Inchiostri di prova, Generatore di ossigeno, Ventilazione lenta, Pompaggio lento, Flangia portacampioni TEM, Manutenzione/Assistenza, Documentazione in lingua nazionale, Installazione in loco, incl. training. Altre opzioni su richiesta.

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